教学优势
曙海教育的课程培养了大批受企业欢迎的工程师。大批企业和曙海
建立了良好的合作关系。曙海教育的课程在业内有着响亮的知名度。
本课程，秉承19年积累的教学品质，以项目实现为导向,老师将会与您分享设计的全流程以及工具的综合使用经验、技巧。
半导体工艺流程与失效分析、可靠性案例培训班
为满足半导体产品生产与设计企业对产品质量及可靠性方面的需要、解决 工程师遇到失效分析与可靠性问题时的疑点和盲区、打破理论与实际脱钩的窘境、达到失效现象与失效原因直 接挂钩、提高产品可靠性的效果，我们特组织举办“半导体失效分析与可靠性案例”培训。 您会学到半导体的工艺流程、材料科学的知识，以及如何运用这些知识去解决半导体产品故障分析中的难题。
培训对象：半导体设计工程师、半导体生产工程师、半导体检测工程师、质量部经理、失效分析工程师、可靠性工程师、质量工程师、设计工程师、半导体工艺工程师、 研究员、失效分析工程师、可靠性工程师、研发与工程技术人员、质量工程师、工艺工程师、制造工程 师、设计工程师、供应商管理工程师、研发/工程/采购/质量经理、研究员、相关专业教授、博士生、研 究生等。
培训课程提纲：
1、半导体的工艺流程
a) 半导体工艺讲解;
b) 半导体工艺涉及的工具;
c) 半导体工艺流程;
2、数字芯片的工艺流程
a) 数字芯片工艺讲解;
b) 数字芯片工艺涉及的工具;
c) 数字芯片工艺流程;
d) ARM芯片工艺流程;
3、模拟芯片的工艺流程
a) 模拟芯片工艺讲解;
b) 模拟芯片工艺涉及的工具;
c) 模拟芯片工艺流程;
d) 高效放大器芯片工艺流程;
3、数字、模拟混合芯片的工艺流程
a) 数字、模拟混合芯片工艺讲解;
b) 数字、模拟混合芯片工艺涉及的工具;
c) 数字、模拟混合芯片工艺流程;
4、半导体封装中的材料科学基础知识：
a) 材料科学的基本概念和基本内容;
b) 金属相与相图 固溶体，共晶相图，金属间化合物（IMC）相图;
c) 材料的变形与力学性能拉伸，压缩，剪切，扭转，弯曲，疲劳，蠕变 ;
d) 材料的热学行为
e) 研究材料常用的仪器和方法光学显微镜， 电子束（SEM/EDX），X线束和离子束仪器（XRD,SIMS）,AES, XPS, SAM, 热分析仪器，有限元分析（FEA）
f) 电子封装常用材料的基本知识 i) 硅晶圆ii) 封装中常用的材料金属/ 合金/无机材料/聚合物/有机材料
2、可焊性失效分析案例： 可焊性的基本研究和基础知识: i) 浸润性的动力学研究 ii) 表面张力天平与浸润时间测量 b）镀层厚度不足，镀层撕裂，镀层玷污，镀层中的有机和无机物夹杂等引起的可焊性失效案例 c）镀层晶粒结构与镀层的抗开裂性能 d）金属间化合物的厚度与完整性对可焊性的影响 e）镀层的牢固性与可再加工性
3、引脚在冲压成形（trim and form）过程中的缺陷： a) 引脚截面不对称性引起的引脚侧移（lead shift） b) 其它缺陷引起的侧移 c）引脚拱起（bow lead）
4、锡须案例分析： a）镀层中常见的三种丝状缺陷（filaments） i）毛刺 ii）多晶体丝状缺陷 iii）自发长大锡须（Tin Whisker） b) 锡须案例的详细观察与研究；锡须生长机理与影响因素
5、枝晶案例分析： a) 铅枝晶案例 b) 陶瓷封装中的金枝晶案例 c) 有机基片中的铜枝晶案例 i) 铜引线（copper trace）之间的铜枝晶 ii）锡球表面的铜枝晶
6、金属间化合物（IMC）引起的焊点失效案例： 例1、 回流焊参数与次数对焊点可靠性的影响 例2、 IMC 碎裂引起的失效 例3、 锡球表面IMC对系统电学测试的影响 例4、 反应式湿润环
7、翘曲/分层/吸潮等失效分析案例： a）热错配引起的翘曲与分层案例及FEA模拟 b）潮气引起的主要缺陷及吸潮过程的FEA模拟
8、焊锡无铅化引起的挑战： a) 熔点提高引起的工作温度提高 b) 锡须生长倾向增加 c) 浸润时间增加，可焊性变坏
9、 有限元分析（FEA）在IC设计与失效分析中的应用例子： 例1、 塑封胶/铜衬垫间的分层终导致晶片开裂 例2、 试验头不均匀加压导致陶瓷基片开裂 例3、 引脚截面不对称性引起的引脚侧移 例4、 焊点疲劳与板级可靠性 例5、 温度循环试验与功率循环试验模拟 例6、 散热片模拟 例7、 吸潮模拟 例8、 设计优化模拟 例9、 Au-A1 键合过程中各种缺陷的模拟
10、失效分析的基本流程概论： a）失效分析概念区别介绍 b）通过证据调查的流程判断失效分析结果的有效性
11、IC元器件失效分析案例讲解： 失效分析流程对于IC连接性失效的盲区典型案例 液晶IC短路失效的分析过程剖析典型案例 引脚开路失效中的分析过程剖析典型案例 IC直流参数性失效中电路分析的难处典型案例 从工艺过程与模拟试验挖掘失效原因的典型案例 闪存IC功能性失效的失效分析的典型案例 PVC技术对芯片物理失效分析的典型案例 ESD静电放电失效与EOS过电失效的现象区别
12、失效分析设备与主要品牌介绍
13、失效分析检测设备与技术手段概论： a）失效背景调查 b）外观光学显微分析 c）电学失效验证 d）X-ray透视检查 e）SAM声学扫描观察 f）开封De-cap g）内部光学检查 h）EMMI光电子辐射显微观察 i）离子蚀刻、剥层分析De-processing j）金相切片Cross-section k）FIB分析 l）电镜与能谱SEM/EDS、俄歇AES、XPS
14、 可靠性试验的基本概念 1．1 概率论基础 1．2 可靠性特征量 1．3 寿命分布函数 1．4 可靠性试验的目的和分类 1．5 可靠性试验设计的关键问题
15、可靠性设备与主要品牌介绍
16、可靠性案例： a）微处理器的MTBF可靠性寿命加速试验案例 整机的MTBF计算案例 b) 集成电路漏电流可靠性加速因子与激活能 的计算与Minitab可靠性软件应用案例 18、可靠性检测设备与技术手段概论： a）高温Bake b）恒温恒湿T/H c）温度/湿度循环T/C d）冷热冲击T/S e）盐雾实验Salt Spray f）紫外与太阳辐射UV g）回流敏感度测试MSL h）高加速寿命试验HALT
17、焊点失效与板级可靠性： a）焊点的疲劳断裂 b）陶瓷封装体中金属化引线的短路 c) 焊锡“挤出”（solder extrusion）
答疑
