培训对象: 宽禁带半导体器件设计师、功率电子工程师、射频功率放大器设计师、先进半导体研发人员。
培训目标:
理解GaN和SiC材料的特性优势(高临界场、高电子饱和速度)。
掌握GaN HEMT和SiC MOSFET的工作原理和结构特点。
能够进行宽禁带器件的TCAD仿真分析。
具备宽禁带器件的版图设计和热管理能力。
培训内容介绍:
二、SiC MOSFET结构: 分析平面栅SiC MOSFET和沟槽栅SiC MOSFET的结构特点,掌握其沟道迁移率和栅氧化层可靠性问题。
三、SiC MOSFET设计要点: 优化JFET区宽度、P-well掺杂、沟道长度,平衡导通电阻和阈值电压稳定性。
四、GaN HEMT结构原理: 理解AlGaN/GaN异质结的极化效应和二维电子气(2DEG)的形成机制。
五、GaN HEMT增强型设计: 设计p-GaN栅、凹槽栅等结构实现增强型(E-mode)操作,优化阈值电压和栅可靠性。
六、场板设计: 设计源场板、栅场板优化电场分布,提高击穿电压,抑制电流崩塌。
七、缓冲层设计: 优化GaN缓冲层的掺杂和组分,抑制漏电和缓冲层陷阱效应。
八、热管理设计: 分析宽禁带器件的高热流密度问题,设计热沉和封装散热方案,进行热仿真。
九、动态特性优化: 分析电流崩塌、动态导通电阻增加等问题,优化表面钝化和缓冲层设计。
十、射频GaN HEMT设计: 针对射频功率放大器应用,优化栅长、栅指数量、源-漏间距,提高截止频率(fT)和最大振荡频率(fmax)。
十一、TCAD仿真挑战: 使用Sentaurus或Silvaco进行宽禁带器件仿真,设置极化电荷和陷阱模型。
十二、实战项目:650V GaN HEMT设计: 完成从外延结构设计、栅工程优化到击穿电压仿真的完整流程。