培训对象: ESD设计工程师、IO设计师、版图设计师、可靠性工程师。
培训目标:
理解ESD事件的物理机制和失效模式。
掌握ESD保护器件(GGNMOS、SCR、二极管)的设计方法。
能够进行全芯片ESD保护网络设计。
具备ESD测试(HBM、CDM、MM)和故障分析能力。
培训内容介绍:
二、ESD测试模型: 掌握HBM(人体模型)、CDM(充电器件模型)、MM(机器模型)的测试电路和波形参数。
三、ESD保护器件——GGNMOS: 分析GGNMOS(接地栅NMOS)的触发机制(寄生BJT),掌握其回滞特性(Snapback)和失效电流。
四、ESD保护器件——SCR: 了解可控硅整流器(SCR)的低钳位电压优势,掌握其触发方式和保持电压设计。
五、ESD保护器件——二极管: 设计P+/NW二极管作为电源钳位和输入保护,优化其尺寸和正向导通特性。
六、电源轨ESD钳位电路: 设计电源到地之间的ESD钳位电路(RC触发、电压触发),吸收ESD电流。
七、全芯片ESD网络设计: 设计从I/O到电源轨的ESD电流泄放路径(VDD到VSS、I/O到VDD、I/O到VSS),确保无死区。
八、ESD版图设计规则: 掌握ESD器件的版图要求(接触孔距离、镇流电阻、有源区尺寸),避免电流集中。
九、IO环设计与布局: 设计IO环的整体布局(电源单元、ESD单元、I/O单元),确保各电源域间的ESD保护。
十、ESD仿真与建模: 使用TCAD或SPICE进行ESD仿真,建立ESD器件的紧凑模型,预测ESD性能。
十一、ESD测试与故障分析: 执行HBM/CDM测试,分析测试失效样品(FIB、EMMI),定位ESD损伤点。
十二、实战项目:I/O单元ESD设计: 完成I/O单元的ESD保护设计、版图实现和仿真验证。